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　　日前，位于望城经开区的湖南艾科威半导体装备有限公司(以下简称“艾科威”)里，一台制作半导体材料的碳化硅(SiC)高温激活炉正在装车，准备发往外地某芯片公司“艾科威成立以来，一直坚持专注半导体设备及系统解决方案为发展定位，包括像碳化硅高温激活炉这样的系列设备，在半导体生产领域展现出强劲的国产化竞争力，已成为科研机构与产线替代进口首选!”艾科特研发总监尹昊自豪地告诉记者。

　　艾科威专注于半导体设备及系统解决方案，提供制作包括碳化硅和晶圆体等半导体材料在内的重要设备。图为艾科威的生产车间。 长沙晚报通讯员 黄厚霖 摄

　　碳化硅作为第三代半导体材料的代表之一，是制造晶圆的重要材料，具有高温稳定性、高频特性和高耐电压能力等优点。碳化硅器件制造环节与硅基器件的制造工艺流程大体类似，主要包括“光刻、清洗、掺杂、蚀刻、成膜、减薄”等工艺，再交由后段的测试、切割、封装厂，以制成实体的集成电路成品。

　　作为“专注半导体设备及系统解决方案”的艾科威，则提供制作包括碳化硅和晶圆体等半导体材料在内的重要设备，名副其实的芯片核心设备生产商。

　　“这样的碳化硅高温激活炉，通过在高温环境下对碳化硅材料进行表面改性处理，实现晶圆表面石墨层的制备，主要应用于碳化硅高温离子注入后的高温激活退火，刻蚀后的沟槽平滑等工艺，具备在氮气、氢气等气体氛围下的高温退火工艺，温度可达1900℃。”尹昊介绍。

　　艾科威成立于2019年，当时半导体产业风起云涌，可由于多种原因，众多核心设备受制于人。

　　正是在这一背景下，一支深谙半导体设备研发与管理的核心团队，怀揣着“国产替代”的使命，毅然投身创业大潮，创立了湖南艾科威半导体装备有限公司。

　　“当时被园区良好的营商环境吸引，我们创业团队拥有深厚的行业积淀，园区迅速匹配资源，开通人才引进绿色通道，助力核心研发团队快速落地。搭建产学研合作桥梁，无缝对接高校与科研院所资源。提供定制化政策支持，有效降低初创期运营成本，让企业心无旁骛搞研发、拓市场”艾科威创始人回忆。

　　半导体设备制造对生产环境要求极为严苛，为此，望城经开区前瞻性地为艾科威提供了关键基础设施保障：800平方米千级净化工艺实验室用于前沿工艺研发，1500平方米万级净化装配车间满足高标准设备制造需求。这为艾科威产品品质与国际接轨(如通过SEMI S2国际安全认证)奠定了坚实基础。

　　在各级各部门的支持下，艾科威快速成长，展现出强劲的国产化竞争力，公司将“创新是企业的十大买球的app灵魂”刻入基因，截至十大买球的app目前，艾科威已累计获得60余项专利及软件著作权，10项发明专利授权，11项发明专利进入实审，构筑起坚实的技术壁垒。

　　例如公司拳头产品之一的管式热工设备立式炉，主要适用于8英寸及以下尺寸晶圆的氧化和退火工艺。

　　“氧化是将硅片放在氧气或水蒸气的氛围中进行热处理，在硅片表面形成氧化膜的过程，可作为隔离层、表面钝化层、器件结构的介质层等。退火主要是通入惰性气体进行热处理的过程，其主要作用是消除晶格损伤和缺陷，最高温度可达1200℃。”尹昊介绍。

　　此外，公司的PVD(物理气相沉积)磁控溅射镀膜机，已成为半导体制备重要设备;还有公司的反应离子刻蚀机(RIE)，被广泛应用于半导体器件、电力电子器件、光电子、微机械等领域。

　　事实上，除了良好的营商环境，当年吸引艾科威落户望城经开区的还有一个重要因素就是当地日益完善的产业链。

　　这些年来，望城经开区坚持一张蓝图绘到底，把智能终端产业发展作为高质量发展的主攻方向，而新兴半导体产业被作为智能终端产业链的“延链”，产业发展成效明显。

　　据统计，望城经开区智能终端产业目前已集聚华为、比亚迪电子、德赛电池、大华股份、利亚德光电、恒茂高科、瑶华半导体等龙头企业，特别是华为、荣耀持续赋能比亚迪电子，2024年智能手机出货量达2000万台，实现产值135.9亿元，税收2.2亿元，连续5年站稳百亿产值规模。

　　这里产业生态日趋完善。2018年至今，园区智能终端产业累计引进项目160个，构建了涵盖智能手机、智慧显示、网络通信设备、智能安防、汽车电子、医疗电子、智能打印等多终端产业生态，产业聚集的强磁场不断形成，目前已有耀华半导体、艾科威半导体、博润微半导体等企业落户，并吸引更多链上企业“加盟”。

　　“全链将在2024年实现产值203亿元的基础上，今年力争引进上下游项目35个，实现规模工业总产值300亿元以上。”望城经开区相关负责人透露。