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买球网站:实现自主突破鼎龙股份高端光刻胶和芯陶静电卡盘项目同日投产

发布时间 : 2026-03-21  浏览次数 :

  买球的app买球的app(300054)在武汉举行“年产300吨高端晶圆光刻胶&湖北芯陶静电卡盘项目联合投产仪式”。

  “两者的国产化率均不足10%,是产业链安全的关键短板。”朱双全介绍,当前全球产业竞争日趋激烈,核心材料与核心部件的自主可控,已经成为保障产业链供应链安全和稳定的关键。晶圆光刻胶被誉为制造的“咽喉材料”,静电卡盘是晶圆加工环节的“核心功能部件”,两者技术壁垒高、验证周期长、质量要求严苛,长期以来高度依赖进口。

  据了解,此次投产的年产300吨高端晶圆光刻胶项目,聚焦ArF/KrF高端晶圆光刻胶,产品覆盖国内晶圆厂全制程技术节点,广泛应用于高端存储(3D NAND, DRAM)和高性能逻辑器件,可满足逻辑芯片与存储芯片的全品类需求。

  该项目位于潜江市,总投资约8.04亿元,建筑面积近1.2万平方米,建设28条光刻胶配方生产线及配套原材料合成纯化平台,实现从单体、光酸、树脂等核心原料到成品光刻胶的全链条自主制造。

  同步落地投产的湖北芯陶静电卡盘项目,让湖北芯陶成为国内唯一实现从核心陶瓷粉体原材料到电极浆料、多孔陶瓷、贴合胶全链条自主可控的企业,其产品适配7nm及以下先进制程。

  该项目位于武汉经开区综合保税区,总投资超10亿元,计划年产高端静电卡盘1500颗、高温加热盘500颗,年产值超10亿元。

  值得一提的是,湖北芯陶不仅是国内唯一可拆解维修TEL RK6/7系列、LAM 054系列等最高端静电卡盘的企业,更成功自主研发与机台通讯协议,使国产卡盘可被国际主流机台无缝识别,144区/150区精准控温技术达到全球先进水平。

  “公司从2010年布局半导体材料开始,没有追求短期的风口,而是一头扎进半导体产业材料研发的深水区。”鼎龙股份总裁朱顺全表示,上述投产的两个项目,是公司在及设备零部件领域,继Pad、Slurry、封装光刻胶和临时键合胶等后的又一里程碑。接下来公司将以这两个项目为支点,持续优化产品性能,提升产能保障,深化与客户的协同创新。

  依托武汉、潜江、仙桃三大产业园,鼎龙股份在半导体材料领域已形成多点开花的局面:CMP抛光垫系列产品单月销量屡创新高,稳居国产供应商龙头地位;CMP抛光液及配套磨料实现批量供货,收入持续增长;半导体显示材料YPI、PSPI等产品确立国产供应领先地位,仙桃产业园PSPI产线年起实现稳定批量供货。